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簡要闡述高純度氣體的制作要求
來源:seouer.cn 發布時間:2020年06月24日
氣瓶處理質量的好壞,直接影響到瓶氣的質量。氣瓶處理的過程和目的,就是將氣瓶加熱干燥抽真空,以便瓶內水分抽出達到國標要求。高純度氣體(5N以上純度)要求處理的氣瓶含水分不得高于3ppm;普通氣體(4N以上純度)要求處理的氣瓶含水量不高于10ppm,為了達到氣瓶處理理想效果,現將氣瓶干燥抽真空操作方法及工藝流程介紹如下。
一、干燥加熱用(yong)熱源
氣(qi)瓶(ping)在抽(chou)真空之(zhi)前,須(xu)先經加(jia)熱干燥再(zai)進行抽(chou)真空,或邊干燥邊抽(chou)真空。干燥的(de)熱源大致(zhi)有三種,即煤氣(qi)、電以及(ji)蒸汽(qi),無論哪種熱源加(jia)熱,保溫箱的(de)工作溫度須(xu)保持110℃~120℃為宜(yi)。

1、煤氣紅(hong)外線加(jia)熱(re):利用(yong)煤氣熱(re)能(neng)通過紅(hong)外線熱(re)能(neng)輻射,將氣瓶加(jia)熱(re)到工作需要溫度。

2、電(dian)加熱:保溫箱內安裝電(dian)加熱管,將氣瓶(ping)烘(hong)烤至工作需要(yao)溫度。
3、蒸汽(qi)加熱(re)(re):利用壓力(li)飽和蒸汽(qi)(0.3Mpa~0.4Mpa)通過散熱(re)(re)器(氣(qi)片或(huo)散熱(re)(re)管)形(xing)式,通過蒸汽(qi)傳遞,將氣(qi)瓶加熱(re)(re)到工作需要(yao)溫(wen)度(du)。

上述(shu)三種熱源加熱方法,只要能保證(zheng)工作(zuo)(zuo)所需(xu)溫度,就能得到干燥(zao)的(de)同樣效(xiao)果。至于(yu)經濟能耗、操作(zuo)(zuo)條件及設(she)備工藝流程等方面,要根(gen)據各廠具(ju)體情況而選擇(ze)。

高純度氣體

二、干燥的目的和方式
1、氣(qi)瓶干燥(zao)的(de)目的(de):是將氣(qi)瓶送到(dao)保(bao)溫箱里通過熱源進行(xing)加(jia)熱,保(bao)溫箱內保(bao)持110℃~120℃,使瓶內水分加(jia)熱蒸發,再經(jing)真空泵抽出瓶內水蒸汽,從而達到(dao)氣(qi)瓶充裝前的(de)真空度。
2、氣(qi)瓶(ping)干(gan)燥(zao)的方(fang)式(shi):
a、全封(feng)(feng)閉(bi)加熱干燥:將氣瓶(ping)(ping)送(song)到保(bao)溫(wen)箱(xiang)里,氣瓶(ping)(ping)全部進行(xing)加熱;箱(xiang)內保(bao)持工作(zuo)需要(yao)溫(wen)度(du),進行(xing)加熱和(he)抽真空處理,特別是(shi)容(rong)積較小、純度(du)要(yao)求較高(gao)的氣瓶(ping)(ping)使用(yong)全封(feng)(feng)閉(bi)加熱。
b、半(ban)封(feng)閉加熱(re)干燥:將氣瓶送到保溫(wen)(wen)箱里,1/4露出箱外(wai),3/4留在(zai)箱里進(jin)行加熱(re)(瓶立、臥均可)瓶閥接入(ru)真(zhen)空管進(jin)行抽真(zhen)空處理(li),保溫(wen)(wen)箱溫(wen)(wen)度保持在(zai)110℃~120℃。對于(yu)要求在(zai)4N以(yi)上純度的氣瓶用(yong)半(ban)封(feng)閉加熱(re)。
3、氣(qi)瓶(ping)干燥抽真(zhen)空(kong)的操(cao)作步(bu)驟:
a、將瓶(ping)閥卸掉,垂直倒立恐怕12h~24h,瓶(ping)內的積水(shui)及雜質盡量排(pai)除(chu)干凈。
b、將瓶閥(fa)擰(ning)好,卸掉橡膠圈,送到保溫箱一次擺好,瓶閥(fa)接入(ru)抽真空管擰(ning)緊(jin),箱門、箱蓋封好。
c、緩(huan)慢通(tong)入熱(re)源,控制(zhi)保(bao)溫箱(xiang)里(li)的(de)溫度保(bao)持在110℃~120℃,然后(hou),啟動真空(kong)泵(按(an)真空(kong)泵操(cao)作規程進行操(cao)作)。
d、真(zhen)空泵正常運行(xing)后,用火花塞檢測儀測試玻(bo)(bo)璃管變色情(qing)況(kuang),根據(ju)真(zhen)空泵運行(xing)時間(jian)及玻(bo)(bo)璃管變色情(qing)況(kuang),可判斷(duan)瓶內抽真(zhen)空度情(qing)況(kuang)。玻(bo)(bo)璃管內的顏色由紫(zi)紅色、粉(fen)紅色、淺紅色、直到合(he)格時的乳白色。
e、一(yi)般情況(kuang)下,真(zhen)空(kong)(kong)泵運行2h,就能達到真(zhen)空(kong)(kong)度。這(zhe)時,停(ting)(ting)止供熱源,再繼續抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong)1h~2h(保溫箱門打(da)開,氣瓶(ping)自然降溫至環境(jing)溫度),停(ting)(ting)止抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong)。
f、氣瓶停止抽(chou)真空降溫后(hou),立即往瓶內充回填氣0.2Mpa,關閉瓶閥。
g、處(chu)理(li)后的(de)氣(qi)瓶(ping)充氣(qi)后,經化(hua)驗,含(han)水(shui)分不超過(guo)10ppm。如果真空泵效(xiao)率(lv)高,可再加一臺擴散泵,處(chu)理(li)好的(de)氣(qi)瓶(ping)水(shui)分含(han)量可達到2ppm~3ppm。
4、氣瓶干燥抽(chou)真空工(gong)作(zuo)中,發現的(de)問題(ti)及處理:
a、新(xin)瓶(ping)或水(shui)(shui)壓試(shi)(shi)驗后的(de)氣(qi)瓶(ping),干燥前(qian)須控(kong)水(shui)(shui),控(kong)水(shui)(shui)前(qian)好先卸掉瓶(ping)閥垂(chui)直倒(dao)立(li)12h~24h,這種方(fang)(fang)法效(xiao)果(guo)很好。如果(guo)僅打(da)開瓶(ping)閥而不卸下,因瓶(ping)內有死角(jiao)積存(cun)水(shui)(shui)滴,將影響抽真(zhen)空(kong)效(xiao)果(guo)。試(shi)(shi)驗證明,打(da)開瓶(ping)閥要比卸下瓶(ping)閥的(de)方(fang)(fang)法多含(han)水(shui)(shui)分5ppm~10ppm。
b、氣瓶(ping)加熱前,將橡(xiang)膠(jiao)圈卸掉(diao),防止(zhi)干燥時,橡(xiang)膠(jiao)圈受高溫烘(hong)烤而造成老(lao)化變形,從而縮短其(qi)使用壽命。
c、氣瓶送入(ru)保溫箱加熱后(hou),應啟動真空(kong)泵,邊加熱邊抽真空(kong)。若不運行真空(kong)泵,可打開瓶閥(fa),不接真空(kong)管(guan),使瓶內(nei)水蒸汽自然排放(fang)。
d、操作時應主要:在真空泵啟動正(zheng)常后(hou),須打開入(ru)口閥;停(ting)泵前,先關閉入(ru)口閥再停(ting)泵,防止真空泵噴油或往管(guan)內串油。
e、真空泵排(pai)氣管要(yao)接到室外,避免泵噴油或(huo)油氣(煙)排(pai)放(fang)室內,造成污染。
f、抽真空系統(tong)不許泄(xie)露,要(yao)用干燥氣(qi)(qi)體(0.2Mpa~0.3Mpa無(wu)油(you)脂(zhi)氣(qi)(qi)體)進行氣(qi)(qi)密性(xing)試(shi)壓(ya),泄(xie)漏(lou)率不超過(guo)5%即為合(he)格。不要(yao)用負壓(ya)做氣(qi)(qi)密性(xing)試(shi)壓(ya)。
g、當(dang)氣瓶(ping)加(jia)熱、真空泵還未投(tou)入(ru)運行時,通常總(zong)管壓力(li)還會上升(sheng)。這(zhe)時因為(wei)。加(jia)熱前,瓶(ping)內(nei)充滿(man)常溫氣體和(he)少(shao)量(liang)(liang)水(shui)分(fen),經加(jia)熱后,溫度(du)升(sheng)至120℃,瓶(ping)內(nei)氣體溫度(du)隨之升(sheng)高,少(shao)量(liang)(liang)積水(shui)蒸(zheng)發為(wei)水(shui)蒸(zheng)氣,促使總(zong)管壓力(li)上升(sheng)。
h、氣瓶(ping)干燥溫度(du)保(bao)持在110℃~120℃范圍(wei)內,不易過高(gao)或過低。否(fou)則,低于(yu)100℃,瓶(ping)內水(shui)分不易蒸(zheng)發;高(gao)于(yu)120℃,易使瓶(ping)閥聚(ju)四氟乙烯或膠圈老化而(er)影響密封性能(neng)。

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