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有關工業高純氣體的分析
來源：seouer.cn 發布時間：2022年12月13日
莆田工業高純氣體分析的核心是對其中的規定雜質進行定性、定量測定。由于高純氣體中的限定雜質數目多, 且含量低, 通常在10-6～ 10-7范圍, 因此對測試設備和分析人員均有較高的要求。
從事(shi)高(gao)純氣體分析的(de)分析人員(yuan)應(ying)熟悉氣體分析的(de)一般過(guo)程, 具(ju)有正確(que)選擇檢(jian)測方法(fa)的(de)能力(li), 并通過(guo)實踐掌握高(gao)純氣體分析的(de)特殊技能。擁(yong)有具(ju)備資格的(de)分析人員(yuan)和適宜的(de)測試設(she)備, 是(shi)開展(zhan)高(gao)純氣體檢(jian)測工(gong)作(zuo)的(de)前提。
隨著半導(dao)體工業(ye)的發(fa)展(zhan), 對(dui)莆田(tian)工業(ye)氣體產品(pin)的質量要求(qiu)越來越高(gao), 對(dui)高(gao)純氣體分析(xi)的測(ce)試技術要求(qiu)亦在不斷(duan)(duan)提(ti)高(gao)。可以斷(duan)(duan)言, 高(gao)純氣體測(ce)試手段及方法的研究(jiu)是(shi)一項永無止境(jing)的工作。
目前, 用(yong)于莆田工業(ye)高(gao)純氣體(ti)測試的設備主要有(you):色譜(pu)儀、質譜(pu)儀、色- 質聯用(yong)儀、光譜(pu)儀、電化(hua)學儀器、露點儀及各種專(zhuan)項測試儀表。經典的化(hua)學分析方法也(ye)是(shi)測定(ding)化(hua)學活性雜質的常用(yong)手段。
從事(shi)高(gao)純氣體分析的(de)分析人員(yuan)應(ying)熟悉氣體分析的(de)一般過(guo)程, 具(ju)有正確(que)選擇檢(jian)測方法(fa)的(de)能力(li), 并通過(guo)實踐掌握高(gao)純氣體分析的(de)特殊技能。擁(yong)有具(ju)備資格的(de)分析人員(yuan)和適宜的(de)測試設(she)備, 是(shi)開展(zhan)高(gao)純氣體檢(jian)測工(gong)作(zuo)的(de)前提。
隨著半導(dao)體工業(ye)的發(fa)展(zhan), 對(dui)莆田(tian)工業(ye)氣體產品(pin)的質量要求(qiu)越來越高(gao), 對(dui)高(gao)純氣體分析(xi)的測(ce)試技術要求(qiu)亦在不斷(duan)(duan)提(ti)高(gao)。可以斷(duan)(duan)言, 高(gao)純氣體測(ce)試手段及方法的研究(jiu)是(shi)一項永無止境(jing)的工作。
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